【招标结果】射频电源与匹配器成交结果公告

所属地区:湖北武汉市 发布日期:2024-04-04

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基本信息

地区 湖北 武汉市 采购单位 武汉大学
招标代理机构 项目名称 射频电源与匹配器
采购联系人 *** 采购电话 ***

中标信息

中标单位 武汉承远电子科技有限公司 中标金额 ***
联系方式 ***
项目概况
项目名称 射频电源与匹配器 项目编号 BH202403150058
开始时间 2024-03-21 11:23 结束时间 2024-03-26 11:23
供应商资格要求 参照《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定的资格条件。 预算金额(元) ***.00
联系电话 ***

成交供应商信息
成交供应商 武汉承远电子科技有限公司 成交金额 ***
成交理由 符合需求,价格最低

采购货物信息列表
序号 货物(服务)名称 数量 计量单位 预算单价
1 射频电源与适配器 4 4500000
技术参数 1、射频电源
输出频率:13.56MHz±50ppm
最小功率:15W
最大功率:1500W
最大反射功率:150W,如果反射功率大于150W,射频电源会降低输出,保持
反射不大于150W。
输出阻抗:50Ω
谐波:≤-45dBc
功率误差:1%设置功率,或者0.1%最大功率。(取最大值)
功率稳定度:1%设置功率,或者0.2%最大功率。(取最大值)
CEX 输入信号:标准正弦波射频信号。(输入信号功率:7dBm±0.5dBm)
CEX 输出信号:标准正弦波射频信号。(输出信号功率:6.5dBm±0.5dBm)
冷却类型:风冷
1.1 输入电源特性:
电压范围:220VAC±20%(176VAC~264VAC),3线,带地线(PE)。
频率范围:47Hz~63Hz
输入电流:16A@230VAC
浪涌电流:冷启动:50A@230VAC
功率因数:PF≥0.97@230VAC(最大功率输出时)
效率:≥70%(输出功率大于200W,并且负载为标准50Ω时)
过流保护:用户必须安装 20A 慢断型的保险丝。
1.2 结构及接口
大小:标准19吋机箱外壳,不包含接口:19吋2U*W430mm*D485mm
重量:净重17.0Kg
AC输入:IEC320 C20连接器,标准3P接口。
RF输出:标准N型连接器,母头(Female)。
用户端口:用户端口(User Port)使用标准 DB25母头(Female)
通信接口:标准DB9母头(Female),包含RS232以及RS485 通信信号
匹配器接口:标准DB15母头(Female)
CEXIn:标准BNC母头(Female)
CEXOut:标准BNC母头(Female)
前面板开关:船型开关,带电源指示灯。
前面板显示:128*256 LCD图形显示器。2、匹配器
匹配器类型:单频
负载属性:CCP
射频输入频率:13.56MHz
功率范围:50-1500W
最大传输功率:1500W
最大反射功率:<3W 或1%输入功率 最大输出电流:60a 最大输出电压:8kvpk 驻波比 <1.2 匹配方式:自动/手动 匹配范围:(1)r(0.5~35)ω+jx(-112~32)ω; (2)r(0.6~34)ω+jx(-112~31)ω 匹配时间:<3s(预设点小于1s) 冷却方式:风冷 高频可调电容器:真空可调电容 工作环境:0~50℃,湿度<85%(不结露) 工作电流:0.5a 工作电压:220vac±10% 目标阻抗:50ω rf输入接口:n母接头 rf输出接口:底部铜片、侧面削边铜柱或定制 尺寸(宽*深*高):370*264*130mm 重量:<9千克 应用行业:磁控溅射/半导体
相关材料 射频电源与匹配器特性指标.docx

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